无机化学学报

高度c轴取向的ZnO膜的低温水热法制备

Low-temperature Hydrothermal Growth of Oriented [0001] ZnO Film

作者	单位
李抒智	中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
刘红霞	中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
杭寅	中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
夏长泰	中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
顾书林	南京大学物理系和固体微结构国家重点实验室, 南京 210093
张荣	南京大学物理系和固体微结构国家重点实验室, 南京 210093

摘要: 在预先镀有ZnO纳米层的(0001)蓝宝石衬底上利用低温水热法制备出ZnO薄膜。SEM和XRD显示此ZnO膜是由六棱柱状阵列构成的，基于蓝宝石衬底生长，具有高度的c轴择优取向，且(0004)摇摆曲线的FWHM达到1.8°。并发现了在水热溶液中加入一定量六次甲基四胺可以调节六棱柱状ZnO尺寸比例。

关键词: ZnO阵列膜水热法 (0001)蓝宝石衬底

基金项目:

Abstract: Well-aligned ZnO films have been prepared by using low-temperature hydrothermal approach on (0001) sapphire substrates pre-coated with a ZnO nano-layer by dip-coating. The characterization results by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD) indicate that the ZnO films consist of hexagonal rods growing along c axis based on sapphire substrates. The size of ZnO rods could be adjusted by an aqueous solution with methenamine.

Keywords: ZnO arrays, hydrothermal approach, (0001) sapphire substrates

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李抒智,周圣明,刘红霞,杭寅,夏长泰,徐军,顾书林,张荣.高度c轴取向的ZnO膜的低温水热法制备[J].无机化学学报,2006,22(3):411-414.

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