无机化学学报

催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层(英文)

Formation of Palladium-Platinum Alloy Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced Chemical Vapor Deposition

作者	单位
俞开潮	华中科技大学化学系，武汉 430074
YousefHamadan	华中科技大学化学系，武汉 430074
程银华	华中科技大学化学系，武汉 430074
周锦兰	华中科技大学化学系，武汉 430074
李正佳	武汉光电国家实验室，武汉 430074
于澍燕	中国科学院化学研究所，高分子物理与化学国家重点实验室，北京 100080
焦庆	中国科学院化学研究所，高分子物理与化学国家重点实验室，北京 100080

摘要: 以N₂，O₂作载气，通过催化增强化学蒸气沉积(CECVD)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成Pt-Pd合金薄膜。在Pd-Pt合金的沉积过程中，Pd/Pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。O₂为载气、300 ℃条件下,用Pd(η³-allyl)(hfac)和Pt(COD)Me₂作前驱体共沉积制备Pd-Pt合金，得到含Pd 37.2%，Pt 62.8%且不

关键词: 催化增强化学蒸气沉积聚酰亚胺钯-铂合金

基金项目:

Abstract: Pd, Pt and their alloy films on polyimide were prepared by Catalyst-Enhanced Chemical Vapor Deposition (CECVD) under the carrier gas (N₂, O₂). Co-deposition of Pd and Pt complexes was used for deposition of alloy film. During the CVD of palladium-platinum alloy, the Pd/Pt atomic ratios varied with co-deposition conditions. Co-deposition of Pd(η³-allyl)(hfac) and Pt(COD)Me₂ under O₂ at 300 ℃ produced palladium-platinum alloy containing palladium of 37.2% and platinum of 62.8%, respectively without the contamination of carbon and fluorine.

Keywords: catalyst-enhanced chemical vapor deposition, polyimide (PI), palladium-platinum alloy

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俞开潮,YousefHamadan,程银华,周锦兰,李正佳,于澍燕,焦庆.催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层(英文)[J].无机化学学报,2006,22(5):789-794.

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