非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中的应用
UTILIZATION OF NON-EQUILIBRIUM STATIONARY PHASE DIAGRAMS IN C-H-N SYSTEM DIAMOND DEPOSITION
作者单位
刘志杰 复旦大学电子工程系CVD研究室上海 200433 
张卫 复旦大学电子工程系CVD研究室上海 200433 
张剑云 复旦大学电子工程系CVD研究室上海 200433 
丁士进 复旦大学电子工程系CVD研究室上海 200433 
王鹏飞 复旦大学电子工程系CVD研究室上海 200433 
王季陶 复旦大学电子工程系CVD研究室上海 200433 
摘要: 
关键词: 碳氢氮体系 金刚石 非平衡定态 相图
基金项目: 
Abstract: Non-equilibrium diamond growth phase diagram for C-H-N system was calculated based on non-equilibrium thermodynamics and coordinates well with published experimental results. Principles of diamond growth region vary with system pressures were obtained by using calculated phase diagrams. Therefore, the phase diagrams can guide the experimental research.
Keywords: C-H-N system diamond non-equilibrium stationary phase diagram
 
摘要点击次数:  1019
全文下载次数:  1258
刘志杰,张卫,张剑云,丁士进,王鹏飞,王季陶.非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中的应用[J].无机化学学报,1999,15(1):132-134.
查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
Support information: